





真空泵是一种用于---、产生和维持某一封闭空间内真空的装置。它利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气,从而达到真空状态。根据工作原理,循环水真空泵报价,真空泵主要分为气体捕集泵和气体传输泵两种类型。
气体捕集泵主要通过捕集和吸附气体分子来实现真空,而气体传输泵则是通过压缩和排出气体来实现真空。这些泵在冶金、化工、食品、电子镀膜等行业有着广泛的应用。

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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