





分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,隔膜真空泵,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵配件主要包括以下几种:
1.油雾过滤器(又名油雾分离器、排气过滤器、排气滤芯):在推动力的作用下,油气混合物通过真空泵油雾分离器的滤纸及棉质,油被截留,从而实现气体与真空油的分离操作过程。被过滤掉的真空泵油随着回油管进行循环利用,隔膜真空泵供应商,排出的则是无油的废气,以达到无污染、洁净的效果。
2.空气过滤器(又名空气滤芯):由于真空泵的滑动空隙很小,外来的介质如果含有颗粒、污垢,可能会破坏滑动面,豁附或阻塞泵的滑动面,导致泵无---常工作。为了防止这种情况,需要使用空气过滤器来阻挡这些外来物进入泵中。
3.油过滤器(又名油格):这是真空泵油过滤装置,设置在泵浦回油管路上,主要用途是在回油箱中捕获体系内发生或者是侵入的污染物。
除了上述三种常见的配件外,真空泵可能还需要其他配件,例如密封件、轴承、联轴器、叶片、泵体等,具体取决于泵的类型和使用环境。为了---真空泵的正常运行和延长使用寿命,隔膜真空泵公司,建议定期检查和更换这些配件。同时,选择正规品牌和渠道购买配件也是非常重要的。
国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,隔膜真空泵生产厂家,---提高了产品的性能和。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。---压力从10pa~10-2pa,抽速从20m3/h~500m3/h。
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