发布单位：凯德金（北京）科技发展有限公司 发布时间：2023-5-11
真空泵的两个转子是通过一对---齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的偏向电动机和齿轮箱一侧。
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有---的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可---降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
随着真空泵使用率越来越普遍，它的也是越来越高，由于它的特性优势被大家普遍使用，为了大家可以---的应用，下面咱们了解下真空泵开机前的检查工作有哪些吧。
真空泵为---真空负压站的正常稳定运行，延长设备的使用寿命，用户每次再开机前应进行一些开机检查工作，开机工作前需谨慎检查水泵的水循环的阀门是否打开。时刻检查真空负压站循环水罐里面的水量以及水的，需及时更换。检查外在线路是否全部连接，观察所有仪表是否在标注的位置。除了在每次开机前进行以上项目的检查外，每次使用中、关机还应该按照正确的流程操作，---下次设备的正常。养成---的习惯，有效减少设备故障率。
