真空泵发展历史

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

真空泵干泵

国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，---提高了产品的性能和。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。---压力从10pa～10-2pa，抽速从20m3/h～500m3/h。

真空泵开机前应做好哪些准备？

1.清理杂物。  

首先要清除真空泵中的尘土，其次是管子中的尘土杂物，尤其是焊接残渣，---清洁，防止进入泵中造成堵塞卡死。

2.检查真空泵各个部件是否齐全。

检查吸气口和排气口是否正确上紧，所有管路是否安装无误，同时检查冷却水管是否正常。

3.---齿轮箱润滑油在标准油位。

在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处，螺杆真空泵的齿轮箱中油过少容易导致齿轮、轴承润滑不足、咬死；过多则容易引起润滑油温度过度升高，导致齿轮噪音或对其他部件的影响。因此，需要注意将油位长期保持在合理范围内。

4.注意冷却水量是否按要求配置。

螺杆真空泵通过水冷夹套对泵体进行冷却，各个型号的冷却水量也有所不同，实际开机前要根据对应型号要求以及环境情况，---冷却水量是否满足配置需要。

5.检查确认真空机组各个阀门的状态。

工艺入口阀关闭、入口过滤器排污阀关闭、出口管线畅通，出口管排污阀打开、冷却水入口管线和出口管线阀门打开、氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭。